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溅射工艺对NiFe/Cu复合丝结构和性能的影响

蒋玲 阮建中 赵强 王清江 赵振杰

蒋玲, 阮建中, 赵强, 王清江, 赵振杰. 溅射工艺对NiFe/Cu复合丝结构和性能的影响[J]. 华东师范大学学报(自然科学版), 2008, (5): 104-109.
引用本文: 蒋玲, 阮建中, 赵强, 王清江, 赵振杰. 溅射工艺对NiFe/Cu复合丝结构和性能的影响[J]. 华东师范大学学报(自然科学版), 2008, (5): 104-109.
JIANG Ling, RUAN Jian-zhong, ZHAO Qiang, WANG Qing-jiang, ZHAO Zhen-jie. Influence of sputtering modes on the microstructure andmagnetic properties of NiFe/Cu composite wires(Chinese)[J]. Journal of East China Normal University (Natural Sciences), 2008, (5): 104-109.
Citation: JIANG Ling, RUAN Jian-zhong, ZHAO Qiang, WANG Qing-jiang, ZHAO Zhen-jie. Influence of sputtering modes on the microstructure andmagnetic properties of NiFe/Cu composite wires(Chinese)[J]. Journal of East China Normal University (Natural Sciences), 2008, (5): 104-109.

溅射工艺对NiFe/Cu复合丝结构和性能的影响

详细信息
    通讯作者:

    赵振杰

  • 中图分类号: O482.4

Influence of sputtering modes on the microstructure andmagnetic properties of NiFe/Cu composite wires(Chinese)

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    Corresponding author: ZHAO Zhen-jie
  • 摘要: 利用射频磁控溅射法分别采用连续溅射和间歇溅射工艺制备了Ni80Fe20/Cu复合结构丝。通过扫描电镜和X射线衍射等手段研究了溅射模式对复合丝微观结构的影响.结果表明:间歇溅射使镀层之间形成明显的界面,镀层结晶度增加,晶粒较大.利用巨磁阻抗效应和磁滞回线手段分析了样品的磁性能,发现实验中溅射的磁性层具有良好的软磁性能,复合丝呈现出较大的巨磁阻抗效应.当采用间歇溅射工艺时,由于复合丝的镀层中存在明显界面,内、外磁层的磁化行为不同,出现两个各向异性场.该样品经退火后,释放了一部分内部应力,软磁性能提高,阻抗效应增强,且内、外磁层磁性能趋于一致.
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-01-22
  • 修回日期:  2008-02-25
  • 刊出日期:  2008-09-25

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