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新型RF MEMS开关的动态表征

张永华 刘蕾 丁桂甫 蔡炳初 赖宗声

张永华, 刘蕾, 丁桂甫, 蔡炳初, 赖宗声. 新型RF MEMS开关的动态表征[J]. 华东师范大学学报(自然科学版), 2007, (5): 118-122.
引用本文: 张永华, 刘蕾, 丁桂甫, 蔡炳初, 赖宗声. 新型RF MEMS开关的动态表征[J]. 华东师范大学学报(自然科学版), 2007, (5): 118-122.
ZHANG Yong-hua, LIU Lei, DING Gui-fu,  CAI Bing-chu, LAI Zong-sheng. Dynamic Characterization of an Innovative RF MEMS Switch(Chinese)[J]. Journal of East China Normal University (Natural Sciences), 2007, (5): 118-122.
Citation: ZHANG Yong-hua, LIU Lei, DING Gui-fu,  CAI Bing-chu, LAI Zong-sheng. Dynamic Characterization of an Innovative RF MEMS Switch(Chinese)[J]. Journal of East China Normal University (Natural Sciences), 2007, (5): 118-122.

新型RF MEMS开关的动态表征

详细信息
    通讯作者:

    张永华

  • 中图分类号: TN61; TP271

Dynamic Characterization of an Innovative RF MEMS Switch(Chinese)

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    Corresponding author: ZHANG Yong-hua
  • 摘要: 一种基于UVLIGA加工技术的双稳态电磁型RF MEMS开关,由于其结构使用了永磁体单元而使得开关在维持“开”或“关”态时不需要功耗,从而实现低功耗的电磁驱动.利用非接触式Wyko NT1 100光学轮廓仪所附带的动态测量系统(DMEMS),对开关的动态响应进行了测量.测量结果表明开关实现了双稳态驱动,开关实现状态完全切换到位对应的响应时间不到20 μs.
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-12-28
  • 修回日期:  2007-04-13
  • 刊出日期:  2007-09-25

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