一种新型可调式微机械光衰减器

华东师范大学学报(自然科学版)

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一种新型可调式微机械光衰减器

杨震, 李国栋, 彭德艳, 忻佩胜, 赖宗声, 朱自强

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杨震, 李国栋, 彭德艳, 忻佩胜, 赖宗声, 朱自强. 一种新型可调式微机械光衰减器[J]. 华东师范大学学报（自然科学版）, 2004, (3): 71-75.

引用本文:

杨震, 李国栋, 彭德艳, 忻佩胜, 赖宗声, 朱自强. 一种新型可调式微机械光衰减器[J]. 华东师范大学学报（自然科学版）, 2004, (3): 71-75.

YANG Zhen, LI Guo-dong, PENG De-yan, XIN Pei-sheng, LAI Zhong-sheng, ZHU Zi-qiang. A New Static-electronic Driving Variable Optical Attenuator[J]. Journal of East China Normal University (Natural Sciences), 2004, (3): 71-75.

Citation:

YANG Zhen, LI Guo-dong, PENG De-yan, XIN Pei-sheng, LAI Zhong-sheng, ZHU Zi-qiang. A New Static-electronic Driving Variable Optical Attenuator[J]. Journal of East China Normal University (Natural Sciences), 2004, (3): 71-75.

杨震, 李国栋, 彭德艳, 忻佩胜, 赖宗声, 朱自强. 一种新型可调式微机械光衰减器[J]. 华东师范大学学报（自然科学版）, 2004, (3): 71-75.

引用本文:

杨震, 李国栋, 彭德艳, 忻佩胜, 赖宗声, 朱自强. 一种新型可调式微机械光衰减器[J]. 华东师范大学学报（自然科学版）, 2004, (3): 71-75.

YANG Zhen, LI Guo-dong, PENG De-yan, XIN Pei-sheng, LAI Zhong-sheng, ZHU Zi-qiang. A New Static-electronic Driving Variable Optical Attenuator[J]. Journal of East China Normal University (Natural Sciences), 2004, (3): 71-75.

Citation:

YANG Zhen, LI Guo-dong, PENG De-yan, XIN Pei-sheng, LAI Zhong-sheng, ZHU Zi-qiang. A New Static-electronic Driving Variable Optical Attenuator[J]. Journal of East China Normal University (Natural Sciences), 2004, (3): 71-75.

一种新型可调式微机械光衰减器

1.
华东师范大学信息科学技术学院,上海 200062

通讯作者:
杨震

中图分类号: TN929.1
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出版历程
- 收稿日期: 2003-03-31
- 修回日期: 2003-04-22
- 刊出日期: 2004-09-25

A New Static-electronic Driving Variable Optical Attenuator

1.
Information Science and Technology College,East China Normal University,Shanghai 200062,China

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Corresponding author: YANG Zhen

摘要: 讨论基于抗反射结构（Mechanical Anti-Reflection Structure ,MARS）的硅基微机械式光衰减技术的基本原理和相关的制造方法，研制了一种工作在 1 320~1 550nｍ波长范围内的静电力驱动的可调式微机械光衰减器.制备该衰减器使用常规的硅平面工艺，制作简单，成本较低.器件体积小，响应速度快，可适应日益增长的波分复用（wavelength division multiplex,WDM）全光网的发展.
- 微光机电系统 /
- 抗反射结构 /
- 可调式光衰减器 /
- 静电力驱动
Abstract: Optical attenuator is a key component in a fiber network. This paper reports a new kind of Silicon-based Variable Optical Attenuator(VOA) based on Micro-Opto-Electro-Mechanical System(MOEMS) technique. The device is designed to work on the wavelength range of 1 320 nm to 1 550 nm.
- MOEMSMARSvariable optical attenuatorstatic-electronic driving /

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